尼康(Nikon)公司的基于透镜的氟化氩(ArF)准分子激光器扫描步进机，适用于大批量生产65nm或更小工艺的器件。

　　分步重复系统(Step-and-Repeat System)NSR-S308F具有193nm波长的ArF准分子激光器及0.92数值孔径的投影透镜，较NSR-S307E的投影透镜更为先进。

　　该产品具有65nm以上精度、1:4缩小率、26×33mm曝光面积、高于8nm的定位精度。其300mm晶片的产量为每小时140片以上。该产品定价为257M美元(仅供参考)。