CNT的直径为几个nm,几十nm,长度为几个μm,几十μm,属于无接缝的圆柱形晶格结构。结构的顶端是,由6个五圆环状所形成的闭合式构造。这种仅用碳原子制成的中空型光纤,虽然功率函数为4.8eV左右,但是由于直径比很高,长度/直径比达到了1000左右,所以电场集中系数特别大,在仅有几 V/μm的低电场强度下,仍可以得到超过1A/c㎡高电流密度。
除此以外,CNT还具有很多优点,例如,拥有较佳的机械特性,相当高的化学稳定性等等。目前的CNT的制作大多运用雷射蚀刻、电弧放电法、化学气相成长法等等技术来制作,并且根据层数的不同,可以分为单层(SWNT)和多层(MWNT)的CNT结构。最近,由于具有催化作用的金属,其特性和大小都获得不错的进展,因此也陆续被研发出兼具放射特性和活性特性,双重特性的双层CNT(MWNT)的方法。而目前CNT的最大问题是,如何以高品质化、高纯度化、低价格化为重心,来生产出低缺陷CNT、混杂物的分离/提炼、提高良率以及能够大量生产等等。
■电场Emission特性与问题
电场Emission结构
一般电场放射型阴极的Emission电流,在施加电压的条件下,可以用包含功率函数和电场集中系数的公式来表示。这里的a和b是常数。因此,上方的局部电子状态密度、气体分子的吸附/脱离、曲率半径等等的变化,对CNT的电场放射特性的影响很大。(*注)
I/V2=a exp(-bΦ3/2/βV)
I:电流、V:施加电压、Φ:功率函数、β:电场集中系数
残留气体对电场Emission造成影响
面板内的残留气体,对于电场放射的影响,从阴极寿命的方面来看,也是一个相当重要的问题。因为极高的化学稳定性,使得CNT在10(-5)Pa的真空下,可以连续以稳定的状态运作长达100小时,不过,部分研究报告资料显示,在10(-3)Pa的条件下,电场Emission的能力会迅速降低。
因此不同的气体会对Emission能力带来不同的影响,而会使Emission降低的气体包括了CH4,O2,CO,CO2,H2O等等。会造成这样现象的原因,大多都被研究员或学者认为由两个原因所造成,包括,由氧引起的Reactant Ion Etching(反应性离子蚀刻),以及在碳氢化合物为主体的非晶质层,发生的CNT尖端的放射面被遮盖,针对这一方面的困难,业界期待着在未来,因为材料和真空封装技术的改善,而降低因为残留气体而对于Emission的影响。
观察电场Emission的劣化结构
因为电场Emission的劣化,会严重的影响CNT的寿命,这样的现象,研究人员大多是利用高分解能,来穿透过电子显微镜(TEM)来作为观察,在电场放射中的CNT的Emission劣化结构,到目前为止,所观察出来的劣化的原因有焦尔热、离子冲击、静电震动、机械应力、残留气体分子的吸着 •反应、放电、剥离等等的原因,此外,在结构上也发现,MWNT和DWNT的阴极寿命比SWNT结构更长。因此,包括CNT固有的特性、FED面板的真空度(残留气体分压)、运作条件(阳极电压、放射电流密度)、三极闸电路构造、以及阴极使用寿命等等,相关的技术或所衍生出来的问题,都是需要持续进行研发与努力的。
■现阶段CNT制程技术
涂布技术需控制制程温度
一般情况下,CNT阴极的制作都是使用涂布法。利用电弧放电法等技术所生成的CNT,和有机接合剂混合在一起,而形成膏状的材料,之后再于玻璃基板上进行照相印刷(Screen Print)生产出显示面板。
应用在开发FED显示器时,也是在CNT在闸极电路内,使用Photo litho Graphic技术来进行选择性涂布。做法是,一开始在整个基板上,把CNT和接合剂混合在一起的膏状材料,之后的涂布方式目前有三种做法,一、利用照相印刷(Screen Print)、旋转表面涂层法等来进行涂布。二、使用分散剂,在溶剂中让CNT形成分散的悬浮液体,之后再利用喷雾式法进行涂布。三、利用电泳法涂布,在形成CNT薄膜之后,再把CNT薄膜用湿式是干蚀刻的方式制作FED。
进一步的关键是,如果考虑燃烧温度的话,在当CNT薄膜形成之后,制程过程中的温度,应该被控制在550℃以下,此外,在闸极电路内,也需要考虑涂布后,CNT垂直排列的活性处理。
触媒CVD技术适合大尺寸生产
因为涂布法的过程相当的繁琐,所以,目前研究单位或业者正在积极的开发利用触媒CVD方式(催化剂CVD法)来代替涂布技术,这个构想是,利用触媒CVD方式,使垂直排列的CNT,在闸极电路内直接生长。
事先在闸极电路中,用来作为生长触媒关键的(Ni)镀气金属元素,选择性的运用电浆增强化学气相沉积(PE)CVD技术,来生长出CNT结构。另外,利用照相印刷涂布技术和分散剂,再配合触媒CVD技术,就可以形成CNT阴极层。
在目前,就电场Emission特性而言,虽然利用涂布法来生成CNT是可以获得较佳的特性,不过触媒CVD的技术,事实上也相当被业界看好,被且也被期待着,因为对于大尺寸应用而言,是具有生产效率较佳的特色,所以,触媒CVD方式所使用的PECVD设备,也正积极的被开发中。
期待改善CNT FED均匀性及降低电压
目前CNT FED最重要的问题是,如何改善画素内以及画素间,放射Emission的均匀性以及,如何降低驱动所需的电压。改善电场Emission电流的均匀性与降低驱动电压,采用SWNT和DWNT结构而在改善电流的均匀性方面,是可以有不错的效果,因为就阀值电压而言,SWNT和DWNT的构造相对是较低的。可以利用活性化处理被涂布面,或者是利用其它生产技术,来有效控制直接生长CNT阴极层的放射地密度,来达到最合适状态,例如雷射照射法等等的技术。另一方面,对于减轻驱动电路的负荷来说,如何降低驱动电压是相当重要,所以也有研究人员朝向开发较佳的3极型闸电路结构,来达到降低驱动电压的目标。
■现阶段实际成品开发情况
因为CNT的新一代制程技术陆续被开发出来,所以到目前为止,包括三星、NORITAKE、摩托罗拉、LETI,以及cDream都已经发表自己所开发的CNT-FED面板。
利用涂布技术开发低电压型FED
三星是利用涂布技术来生产CNT-FED面板,而达到完成15吋的彩色CNT-FED显示器。在制程上,三星使用的是电弧放电技术,来让SWNT形成膏状材料,然后再利用照相印刷(Screen Print)在玻璃基板上涂布材料,而进行活性处理的。这样所形成的CNT阴极孔径是20μm,在荧光体的部分是使用Y2O2S:Eu(Red), ZnS:Cu.Al(Green),ZnS:Ag.Cl(Blue)作为三原色的材料,驱动电压分别是阳极电压1KV、闸极电路电压50V。而在未来,三星将朝向利用,开发大尺寸双闸极结构的涂布-高电压型FED面板为目标,在6KV、2.5μm/c㎡的CNT结构下,整体面板辉度可以达到400cd/c ㎡。
日本NORITAKE开发彩色高电压型FED文字显示器
日本NORITAKE发表了一款面积为48×480mm2的彩色FED文字显示器,这是利用高温CVD技术来完成的,日本在NORITAKE铁(Fe)合金基板上,直接生长MWNT,之后再采用KrF雷射照射完成活性处理。这款显示器的荧光体是使用了Y2O3:Eu(Red),ZnS: Cu.Al(Green),ZnS:Ag(Blue)作为三色材料,阳极电压为7KV,而且附上一层铝金属背光,表面覆盖特殊的材料来防止静电,画素尺寸为1×1m㎡,屏幕的整体的辉度高达4000cd/c㎡。
摩托罗拉采用CVD-低电压技术开发单色CNT-FED
摩托罗拉则是在较早之前发表了6吋的单色CNT-FED显示器。利用Filament CVD技术,在50℃的环境下,在玻璃基板上直接生长的MWNT,如此可以达到画面具有均匀性的效果。而因为是单色显示的原因,所以荧光体只有绿色,使用的是Y2SiO5:Tb材料,阳极电压为3KV,闸极电压100V,电流密度达到了10mA/c㎡,屏幕辉度也高达1400cd/c㎡,最出色的是, CNT的寿命可达到9000小时以上。而最关键的部分,CNT的劣化结构已经获得极大的改善,随后,摩托罗拉在2005年,利用同样的技术又发表了4.6 吋的彩色FED。